작지만 강하다
주사전자현미경(SEM) 내 설치에 ZHN/SEM 나노 압자를 사용하면 최대 해상도로 시편을 관찰하면서 미세 기계 실험을 수행할 수 있습니다. 현재 사용 가능한 가장 큰 측정 범위를 보유하고 있으며, 최대 변위 측정은 200µm, 최대 힘은 200mN으로, 저진동 환경에서 소음이 매우 적은 힘이나 변위 센서와 결합합니다. 설비 강성이 높아 기존의 경도 측정을 어렵지 않게 수행할 수 있습니다.
표준 시스템은 SEM의 다양한 스테이지 시스템 설치용으로 개발되었지만, 챔버 벽에도 설치할 수 있습니다. SEM 스테이지의 기존 기울기 및 위치 결정 옵션을 이 시스템에서 사용할 수 있습니다.
시스템 구성요소는 다음과 같습니다.
- 센서와 액추에이터가 있는 측정 헤드
- 시편을 XY 방향으로 배치하고 압자 축을 중심으로 선택적으로 회전하기 위한 피에조 스테이지 시스템
- 측정 헤드의 시편 방향 변위를 위한 견고한 기계적 Z-스테이지
- PC 및 컨트롤러
- 사용이 간편하고 매우 유연한 소프트웨어
- 피드 스루가 있는 1개 또는 2개의 플랜지(SEM별)
기술 개요
설명 | 값 | |
품목 번호 | 1020054 | |
유형 | ZHN/SEM | |
시험 하중, 최대(Fmax) | 약 200 | mN1 |
변위, 최대 | 20mN에서 약 200µm, 200mN에서 1,500µm | |
힘 분해능, 디지털 | ≤0.02 | μN |
변위 분해능, 디지털 | ≤0.001 | nm |
잡음 수준, 힘 측정(RMS) | ≤0.5 | μN |
잡음 수준, 변위 측정(RMS) | ≤0.5 | nm |
스테이지 시스템 | ||
X 및 Y 스테이지: 이동 범위 | 21 x12 | mm |
X 및 Y 스테이지: 위지 지정 정확도 | ≤50 | nm |
X 및 Y 스테이지: 측정 시스템 분해능 | 1 | nm |
Z 스테이지: 이동 범위 | 15(옵션 25) | mm |
Z 스테이지: 위치 결정 정확도 | ≤0.1 | μm |
Z 스테이지: 측정 시스템 분해능 | 50 | nm |
- 압축 및 인장